ドイツ イノバベントGmbH

VOLCANO® ラインビーム 750G レーザ光学系

750mmライン長の10KHzパルスレーザ532nmガウシアンラインビーム光学系

特徴
ELA エキシマレーザアニールの置き換え
エキシマレーザの1/5のランニングコストを実現
個体レーザ、光ファイバー結合による優れたメンテナンス性


VOLCANO®ラインビームLB750G光学系

LB 750Gシステム構成

応用
VOLCANO®LBレーザ光学系は、アモルファスシリコン膜のような半導体薄膜のアニーリングや結晶化に応用されます。50nmのa-Si薄膜は、LCDやOLEDフラットパネルディスプレイの薄膜トランジスタ(TFT)製造のため重要な役割を果たしています。
グリーンレーザ結晶化はアモルファスシリコンを高性能のフラットパネルディスプレイのための速い応答性を持つTFT多結晶シリコンに変換します。
VOLCANO®LBレーザ光学系は750ミリメートルのラインの長さを形成し,ELA(エキシマレーザアニーリング)同等のp-Si膜 (50-100 cm2/Vs)を作ることが、これらの膜は、OLEDとLCDディスプレイのTFTマトリックスに最適です。
またVOLCANO®LBレーザ光学系は利用率が高く(90 %以上)信頼性があり、また低いランニングコスト(エキシマレーザを使ったELAシステムの1/5)が特徴です。


長軸ビームプロファイル

短軸ビームプロファイル

ラインビーム構成
VOLCANO®ラインビームレーザ光学系はファイバー結合レーザモジュール及び分離されたラインビーム光学モジュールで構成されます。ファイバーアレイから出射するレーザビームはコリメーション光学系を経てホモジェナイザーレンズアレイに照射されます。
VOLCANO®ラインビームレーザ光学系はFALCON® XXL シリンダー結像光学系を持ち、この結像レンズはワーキングディスタンス200mmで10x(NA=0.25)で短軸の中間イメージを半値ビーム幅20 ~30μm で基板に縮小投影します。ライン長は750mmまで選択できます。
レーザ光源は英国パワーレーズフォトニクス社のProcyon g1600 (532nm/1.6KW) で、レーザ光はファイバーに結合されラインビーム光学モジュールから30m離して自由に設置することが出来ます。この多重化の光学系コンセプトにより優れたパルス安定性と均一性 (σ 0,5%以内 ) 及びレーザ及び光学系の設置の利便性と信頼性を得ることが可能になります。

VOLCANO® ラインビーム 200/750 レーザ光学系仕様

技術データ VOLCANO® LB 750G VOLCANO® LB 200G
長軸長さ 750mm (FWHM)
御要求により他の長さも可
200mm (FWHM)
御要求により他の長さも可
均一性 5%以内(6σ)
波長 532nm(御要求により他の波長も可)
ライン幅 20~30μm(FWHM) またはそれ以上
エネルギー密度 500mJ/cm2以上
(1.6KW 8x20mJ/10KHz光源による)
500mJ/cm2以上
(600W 6x10mJ/10KHz光源による)
アッテネータ 偏向タイプ(5-95%)
レーザ Procyon g 1600 Procyon g 600
パルス時間幅 60~100ns, 遅延制御により長いパルス幅可
ビームプロファイラー 顕微鏡対物レンズ付きCCDカメラ

VOLCANO® LB レーザ光学系は試料面のエネルギー密度を調整するアッテネータモジュールを含みます。パワーメータ、CCDカメラ方式のビームプロファイル計測機器が装備可能。

輸出管理規制
ProcyonレーザはEG 428/2009 及び EU 388/2012 によるデュアルユース商品です。


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