ロシア オプトシステムズ社

エキシマレーザ

CL-5000 / CL-7000

エキシマレーザ CL-5000 / CL-7000 特徴
Pseudo放電スイッチにより高寿命を実現 (新開発)
単一設計でコンパクトサイズ
出力安定化を含むPC制御
プリミックスガスの使用で安全
コロナ予備電離とセラミックチューブ採用で長いガス寿命

CL-5000 中出力
発振波長*1 193nm 248nm 308nm
パルスエネルギー 20mJ 40mJ 25mJ
モデル / 繰り返し率 平均出力
CL-5100 / 100Hz 2W 4W 2.5W
CL-5200 / 200Hz 4W 8W 5W
CL-5300 / 300Hz 5W 10W 7W
パルス時間幅 8-10ns 9-11ns 9-11ns
ビームサイズ (mm)*2 5 x 12 6 x 12 6 x 12
ビーム発散角 (mrad)*2 2 x 4 (安定共振器)
ジッター 2ns以内
装置サイズ (mm) 780L x 330W x 583H
重量 (Kg) 80Kg
冷却
CL-5100
CL-5200 / 5300

空冷
水冷:1L/分以内
電源 220V / 50Hz, 10А, 1KVA以内
ガス プリミックスガス 1系統
制御 RS 232, DOS/Windows

*1 157nmも発振可
*2 FWHM

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CL-5000 エキシマレーザ

CL-7000 高出力
発振波長*1 193nm 248nm 308nm
パルスエネルギー 250mJ 400mJ 300mJ
モデル / 繰り返し率 平均出力
CL-7020 / 20Hz 5W 10W 6W
CL-7050 / 50Hz 10W 20W 15W
CL-7100 / 100Hz 20W 35W 25W
パルス時間幅 17ns 20ns 20ns
ビームサイズ (mm)*2 6 x 20 6 x 21 7 x 22
ビーム発散角 (mrad)*2 1.5 x 4.5 (安定共振器)
ジッター 2ns以内
装置サイズ (mm) 1360L x 382W x 720H
重量 (Kg) 170Kg
冷却
CL-7020
CL-7050
CL-7100

空冷
水冷:1L/分以内
水冷:3L/分以内
電源
CL-7020
CL-7050
CL=7100

220V / 50Hz, 10А, 1.5KVA以内
220V / 50Hz, 10А, 1.8KVA以内
380 / 220V , 50Hz, 10А, 3.5KVA以内
ガス プリミックスガス 1系統
制御 RS 232, DOS/Windows

*1 157nmも発振可
*2 FWHM

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CL-7000 エキシマレーザ

高繰り返し エキシマレーザ CL-7000K

繰り返し率/平均出力データ 特徴
最大繰り返し率1KHz
メタルセラミック放電チャンバーで長いガス / 光学系寿命
光学系の交換が容易
単一設計でコンパクトサイズ
出力安定化を含むPC制御
プリミックスガスの使用で安全

CL-7000K 高繰り返し
発振波長 193nm 248nm
パルスエネルギー 24mJ 40mJ
繰り返し率 1000Hz
平均出力 24W 40W
パルス時間幅 14ns 20ns
ビームサイズ (mm, FWHM) 5 x 16
ジッター 2ns以内
装置サイズ (mm) 1360L x 382W x 720H
重量 (Kg) 170Kg
冷却 水冷:1L/分以内
電源 4.5KW
ガス プリミックスガス 1系統
制御 RS 232, DOS/Windows
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CL-7000 エキシマレーザ

狭帯域 エキシマレーザ CL-7500

ライン幅データ 特徴
CL-7020又はCL-7050 2台と特殊光学系、同期回路で構成されます。
2つの波長での動作が可能で、発振器-増幅器の様々な組み合わせが可能です。

CL-7500 狭帯域
発振波長 248nm 308nm
パルスエネルギー 250mJ 100mJ
繰り返し率 20/50Hz
波長ライン幅 0.003nm以下
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CL-7000 エキシマレーザ

CO2レーザ

高繰り返しCO2レーザ InfraLight-100

CO2レーザ 特徴
準密閉動作で混合ガスの高寿命化を実現
高繰り返し率
単一設計でコンパクトサイズ
出力安定化を含むPC制御

用途
マーキング
非金属の表面のエングレービング
回路基板の穴あけ
ライダー計測
赤外分光法
表面クリーニング

InfraLight-100 高繰り返し
発振波長 10.6μm
パルスエネルギー 50mJ
繰り返し率 300Hz
平均出力 15W
パルス時間幅 3μs
ビームサイズ 10mm
ビーム発散角 3mrad以内
制御 RS 232又はRS 422
装置サイズ (mm) 780L x 330W x 583H
重量 (Kg) 80Kg
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InfraLight CO2レーザ

高パルスエネルギーCO2レーザ InfraLight-200

パルス波形 特徴
高増幅で高パルスエネルギー
発振線チューニング
広範囲の作動圧力(200~1000ミリバール)
PC制御
オプション:波長同調、再生システム

用途
マーキング
非金属の表面のエングレービング
回路基板の穴あけ
ライダー計測
赤外分光法
表面クリーニング

InfraLight-200 高パルスエネルギー
発振波長 10.6μm
パルスエネルギー 1,2,3J
繰り返し率 50Hz
平均出力 30W
パルス時間幅 3μs
ビームサイズ (mm) 15x15, 15x30
ビーム発散角 3mrad以内
制御 RS 232又はRS 422
装置サイズ (mm) 1360L x 382W x 720H
重量 (Kg) 170Kg
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InfraLight CO2レーザ

短パルスCO2レーザ InfraLight-SP

短パルスCO2レーザ 特徴
短パルス 高増幅率
発振線チューニング
広範囲の作動圧力(200?1000ミリバール)
PC制御
ビルトインガス再生システム

用途
同位体分離
非破壊検査
ライダー計測
表面クリーニング
マーキング
回路基板の穴あけ
赤外分光法

InfraLight-SP 短パルス TEA-CO2 レーザ
発振波長 9.2-10.8μm
パルスエネルギー 700mJ
モデル / 繰り返し率 平均出力
InfraLight-SP-10 / 10Hz 7W
InfraLight-SP-100 / 100Hz 60W
パルス時間幅 50-100ns
平均出力安定性 0.8% /h以内
ジッター ±5%以内
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InfraLight CO2レーザ

2波長発振CO2レーザ InfraLight-L

2波長発振CO2レーザ 特徴
2ビームレーザ(1ヘッドに2つの放電領域)
2波長の放射
同期若しくは遅延動作
高速波長チューニング
単一ユニット
PC制御

用途
IR-ライダー計測

InfraLight-L  2波長発振 TEA-CO2 レーザ
モデル ビーム1 ビーム2
発振波長 9.2-10.8μm 9.2-10.8μm
パルスエネルギー 10m 10m
繰り返し率 300Hz 300Hz
平均出力 8W 8W
パルス時間幅 2μs 2μs
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InfraLight CO2レーザ

DPSS個体パルスレーザ

DPSSレーザ

DPSSレーザ 特徴
アクティブQスイッチ動作1-10KHz
コンパクトサイズ で高効率設計
堅牢でメンテナンスフリー
機内循環冷却系
密閉型レーザヘッド
超寿命ダイオードバー

レーザ構成
レーザヘッド、レーザドライバー、チラー

用途
マーキング
精密な穴あけと切断
マイクロ溶接
スクライビング
ポリッシング

モデル DPSSL-50-1064 DPSSL-20-1064 DPSSL-16-532
発振波長 1064nm 1064nm 532nm
動作モード 連続発振/パルス発振 パルス発振
繰り返し率 10KHz
連続発振時平均出力 50W 20W -
平均出力(10KHz) 45W 18W 16W
空間モード マルチモード TEM00 TEM00
M2 ~10 < 1.5 < 1.5
ビーム径 (mm) 3.0 ~1.0 ~1.0
パルス時間幅 < 100 ns
安定性(RMS) < 3% < 2% < 3%
偏光 ランダム 直線
電源 単相220V±10% / 50/60Hz, 1KW以内
環境温度 15-30℃
装置サイズ (mm) 186 x 113 x 810 330 x 113 x 710
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DPSSL 固体レーザ

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