フェムト秒レーザーを搭載した、高品質レーザー加工装置です。
超短パルスレーザーと超高速多軸制御ガルバノスキャナーを組み合わせる事により、金属、セラミック、ガラス、シリコンに対して、熱影響なく高精度高品質加工を実現した装置です。SEM写真観察においても、バリやドロスの無い高品質加工を実現しています。加工穴径はテーパーレスのストレート穴加工で25μmが可能で、逆テーパ又は正テーパ加工のテーパ角度の制御も自在です。多軸ガルバノスキャナーとX-Yワークステージの組み合わせ加工により、任意形状の穴加工が可能です。
サンプルテスト加工も承っており、受託加工の相談もさせて頂きます。

超短パルスレーザー装置で金属に異形穴を空けた加工SEM写真です。穴の側面においても非常に平滑でかなり拡大してもチッピングや盛り上がりなどが全く観察されず高品質に加工されていることが分かります。超短パルスレーザーと超高速多軸制御ガルバノスキャナーを組み合わせる事によりこのように非常に高品質な微細加工が行えます。